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得先讲起为什么是钌前体?
金属钌薄膜——由挥发性前体通过蒸发制成——在应用于几纳米或更小的线径时显示出优异的材料特性。
使用钌的优点包括:
抗热和电退化 – 提高晶体管的寿命
高熔点 – 允许高温应用
创造无障碍互连的潜力——允许更小的设备架构并减少工艺步骤的数量
低电阻率——以更快的开关时间促进更高性能的芯片
半导体行业可用的钌前体
您可以从8种可通过原子层沉积或化学气相沉积应用的钌化合物中选择作为新的互连材料。此外,我们的钌前驱体可用于硬掩模。 -
另一方面是因为哪种金属最闪亮?铑是一种银白色金属元素,具有高反射性和耐腐蚀性。它被认为是世界上最稀有和最有价值的贵金属——远高于黄金或白银。
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整体来说钌的三种用途是什么?大部分用以电子工业里的内置式电阻和电接触点。空气氧化钌在化工中用以涂敷用以生产制造氢气的电化学电池的阳极氧化。钌还用来生产制造氨和甲酸的金属催化剂。
在回收企业硫酸钌过程中的感受
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