钌在微电子中的应用
每年消耗大约1.8亿盎司（1998年），微电子是钌的主要用途。[24]钌金属特别不易挥发，这在器件中是有利的。Ru及其主要氧化物RuO2具有相当的电阻率。[77]铜可以直接电镀到钌上，[78]特定应用包括阻挡层、晶体管栅极和互连。[79]可以使用挥发性络合物如四氧化钌和有机钌化合物(环己二烯)Ru(CO)3通过化学气相沉积来沉积Ru薄膜.[80]
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钌的反应性是什么？
化学性质钌金属相对不活泼。它不溶于大多数酸或王水中。王水是盐酸和硝酸的混合物。它经常与不单独与任何一种酸反应的材料发生反应。
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